一、十萬級無塵凈化車間
十萬級無塵凈化車間主要靠潔凈的氣流不斷稀釋室內的空氣，將室內的污染逐漸排出，來實現(xiàn)潔凈效果。室內的氣流是以不均勻的速度呈不平行流動，拌有回流或渦流，不同等級的無塵室，主要是依靠單位時間內所送風量的不同來實現(xiàn).目前有十萬級和三十萬級兩種標準。

二、十萬級無塵凈化車間潔凈室
潔凈室是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除，并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內，而所給予特別設計之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化，其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。

三、十萬級無塵凈化車間作用
潔凈室最主要之作用在于控制產品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產品能在一個良好之環(huán)境空間中生產、制造，此空間我們稱之為「潔凈室」。