十萬級無塵車間0.5微米的最大容許粒子濃度小于352000(pc/m3),5微米的最大容許粒子濃度小于29300(pc/m3)。十萬級無塵車間用于液壓設備或氣壓設備的裝配，某些情況下也用于食品飲料工業，此外十萬級無塵車間在醫工業中也很常用。

十萬級凈化潔凈室換氣次數估算：十萬級潔凈室不小于15次/h。